Verzeichnis der Abschlussarbeiten

In dieser Arbeit wird die Einführung eines Public Monitors zur Optimierung der Instandhaltungsprozesse in der Halbleiterfertigung untersucht. Ziel ist es, die Stillstandszeiten von Fertigungsanlagen durch eine Echtzeit-Visualisierung der Maschinenstatus zu reduzieren und so die Reaktionszeiten der Instandhaltung zu verbessern. Der Public Monitor zeigt den aktuellen Zustand aller Maschinen in einem farbcodierten Format an und ermöglicht eine schnellere Identifikation von Störungen. Die Umsetzung erfolgt in Zusammenarbeit mit der IT- und Instandhaltungsabteilung und beinhaltet eine Testphase, um die Effizienz des Systems zu bewerten. Die Analyse der Stillstandszeiten vor und nach der Einführung zeigt, dass der Public Monitor die Reaktionszeit der Instandhaltung verkürzt und zu einer signifikanten Reduktion der Maschinenstillstandszeiten führt. Diese Ergebnisse bestätigen die Hypothese, dass eine transparente Echtzeit-Visualisierung eine effizientere Störungsbearbeitung und eine Optimierung der Fertigungsprozesse ermöglicht.

This thesis examines the implementation of a public monitor to optimize maintenance processes in semiconductor manufacturing. The goal is to reduce machine downtime by providing real-time visualization of machine statuses, thereby improving maintenance response times. The public monitor displays the current status of all machines in a color-coded format, allowing for faster identification of malfunctions. The implementation is carried out in collaboration with the IT and maintenance departments and includes a test phase to evaluate system efficiency. The analysis of machine downtimes before and after implementation shows that the public monitor reduces maintenance response times and leads to a significant decrease in machine idle times. These results confirm the hypothesis that transparent real-time visualization enables more efficient troubleshooting and process optimization in production.